干式真空泵
在過去的分類、油真空泵被廣泛應(yīng)用于各種半導(dǎo)體工藝和真空泵和活塞式真空泵是重要的代表。而且它們在各種應(yīng)用中的體現(xiàn)不能讓人感到驕傲。因此，干式真空泵應(yīng)運而生。在過去的年中，有幾個不同的例子，干式真空泵的計劃和生產(chǎn)，他們有顯著的差異，在機器布局計劃。由于這種區(qū)別，我們可以將干式真空泵歸納為以下幾種：圓形葉型、爪型、組合型（根爪）、螺桿式。如今，這些例子被不同廠家廣泛使用。圓形，爪和組合（根爪）被稱為多級泵。由于它們的方法基本相似，真空被多級真空室反復(fù)壓縮產(chǎn)生真空。在重復(fù)壓縮的過程中，氣體的溫度和壓力也會發(fā)生很大的變化，從而更容易改變氣體的物理性質(zhì)。螺桿式泵稱為單級泵，因為它只能由真空腔產(chǎn)生真空。根據(jù)氣體壓縮法的不同，可分為內(nèi)壓式螺桿泵和外壓式螺桿泵。這里有一些這些差分泵的物理實例，期待為他們提供資金。
雙峰方案是羅茨泵是目前最流行和廣泛使用的非常相似。事實上，最早的干泵計劃是將羅茨泵泵到一起。這種多級方案使氣體路徑非常大，每一級都需要較大的氮氣流量來稀釋和切斷。同時，為了獲得良好的真空，對所有級別的通關(guān)要求非常嚴(yán)格。當(dāng)然，這種程序使得功耗相對較低，由于內(nèi)部壓縮比的增加。
一三葉圓形方案的原理是完全一樣的，兩葉分割方案。它只把氣體分為三個部分，而不是一個圓形的圓瓣，它是兩個拷貝。三瓣環(huán)規(guī)劃和雙圓分裂方案具有相似的優(yōu)點和缺點。為了進(jìn)一步降低功耗，一些廠家在傳輸部門選擇兩臺直流電動機，但這也會導(dǎo)致轉(zhuǎn)矩下降和重新啟動的能力下降。以同樣的方式為雙圓裂計，每三裂片圓葉方案需要較大流量的氮氣稀釋效果。
組合式（根爪）計劃的進(jìn)展具有較低壓力的爪子服從抽在羅瓷萊的領(lǐng)導(dǎo)下，服從在較高壓力下泵的進(jìn)步。同類型程序葉前端氣路的基本原理。有些制造商將他們的最后階段改為類似于恒星的計劃，例如允許氣體在旋轉(zhuǎn)的循環(huán)中分成五個部分，如三輪計劃，可分為三個部分。同樣，在許多過程中，一個聯(lián)合計劃的每個階段都需要一個大流量的氮氣來稀釋和切斷。